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华林科纳与弘塑科技战略合作,加大研发半导体湿制程领域设备

  2019-04-19 15:43 

​3月底,华林科纳半导体与台湾弘塑科技签订战略合作协议。华林科纳、弘塑科技、三菱电机、香港应用科技研究院、文治资本、上海交通大学微电子学院均派出代表出席并见证了签约仪式。根据协议,双方将本着“强强联合、优势互补、合作共赢”的原则,积极推进在半导体湿制程领域的设备研发、制造、售后服务支持等方面合作,促进共同发展。...

ASML第一季度总销售额达到22亿欧元,售出43台新型光刻机

  2019-04-18 11:00 

4月17日,全球光刻机龙头厂商ASML公布2019年第一季度财报,总销售额达到22亿欧元,净收入为3.55亿欧元,毛利率达41.6%。预计第二季度净销售额将在25亿欧元至26亿欧元之间,毛利率在41%至42%之间。财报显示,今年第一季度ASML共计售出43台新型光刻设备,相比于去年第四季度的58台有所下降。...

我国光刻样机实现微纳器件三维光制造新突破,光刻出最小9纳米线段

  2019-04-15 15:00 

​4月15日消息,据科技日报报道,武汉光电国家研究中心甘棕松团队采用二束激光在自研的光刻胶上突破了光束衍射极限的限制,采用远场光学的办法,光刻出最小9纳米线宽的线段,实现了从超分辨成像到超衍射极限光刻制造的重大创新。据悉,甘棕松团队利用的是光刻胶材料对不同波长光束能够产生不同的光化学反应,让自主研发的光刻胶在第一个波长的激光光束下产生固化,在第二个波长的激光光束下破坏固化。第二束光被调制为空心光(中心光强为0),并利用第二曙光与第一束光形成的重合光斑,作用于光刻胶。这样只有第二束光空心部分的光刻胶最终被固化,从而远场突破衍射极限。...

国际大厂开始布局EUV光刻胶,集成电路生产水平亟待提升

  2019-03-26 15:44 

​日前,在集成电路制造过程中,光刻是非常重要的一环,它决定了芯片的最小特征尺寸,而光刻胶是光刻工艺得以顺利实现的关键材料。在国内大力发展集成电路产业的大背景下,国产光刻胶如何满足国内产线的需求;在国际大厂纷纷布局EUV光刻胶的节点上,国内光刻胶产品如何向高端迈进,成为集成电路材料业亟须破解的难题。...

欧洲芯片实验室IMEC研发出新型EUV技术,国产光刻机面临压力

  2019-03-25 10:48 

​近年来,国产光刻机从无到有,从有到精。制造出国产芯片光刻机是14亿中国老百姓的共同心愿,有了国产光刻机,我们就能造出国产芯片,不用担心被ASML公司“卡脖子”。要实现光刻机国产化,就必须要投入很多资金、人力,现在国家也在重视支持国产光刻机发展。目前国内已能生产制造28nm芯片的国产光刻机,尽管技术仍有待提高,但毕竟实现了国产化,在以后的日子里,经过打磨提高,仍有希望在光刻机巨头ASML的碗里分一杯羹。然而,我们在进步,别人也在进步。最近,ASML的合作伙伴、欧洲芯片实验室IMEC研发出新型EUV光刻机技术,这项先进技术对于发展5nm和3nm的光刻机有重要作用。...

IMEC和KMLabs研发出新型EUV光源,提供更高的空间和时间分辨率

  2019-03-18 15:59 

将光刻技术转移到EUV波段意味着材料和光源的巨大变化。新的13.5纳米EUV等离子体光源取代了193纳米波长的紫外激光器。光子能量随着波长的减小而增加,因此来自激光驱动的新型等离子体EUV光源的每个光子所携带的能量是来自旧激光光源的光子的14倍。高能量光子需要新的光刻胶材料,这是一个具有挑战性的化学问题。新近开发出来的光刻胶都遭受到看似随机的缺陷(称为“随机印刷失败”)的困扰。比利时微电子研究中心(IMEC)研究探测材料的首席科学家John Petersen说,这个问题已经成为EUV光刻的首要问题。...

半导体发展之路——半导体产业工人的血泪史

  2019-03-07 15:42 

1905年被发明出来的电路板仅仅只是整个半导体行业发展进程中的一个切面。随着芯片、显示屏等各种半导体技术的一次次迭代升级,革命性科技产品的一次次出现改变了我们几代人的生活。但在绝大部分人享受到半导体发展带来的便利性的同时,我们中的另一部分人尝到的却是它所带来的恶果。...

江苏南通15.5亿元中科钢研项目开工,提速碳化硅产业化

  2019-02-26 16:20 

2月23日,江苏南通如东县一季度亿元产业项目集中开工暨中科钢研产业项目开工仪式举行,此次集中开工的27个项目计划总投资达80.9亿元,涉及工业、服务业等诸多领域。其中,中科钢研节能科技有限公司(以下简称“中科钢研”)投资建设的中科钢研产业项目引人注意。...

屹唐半导体拿到二期项目的土建开工证,预计4月底建成投入使用

  2019-02-22 15:30 

​近日,屹唐半导体拿到了二期项目的土建开工证。这也意味着二期项目开工在即。屹唐半导体二期项目将搭建研发实验室,扩充物流及仓储设施。据北京日报报道,二期项目预计4月底建成投入使用。...

爱德万完成对Astronics商用半导体系统级测试部门的收购案

  2019-02-21 15:59 

​2月21日,测试设备大厂爱德万发布新闻稿指出,日前已完成对Astronics Corporation商用半导体系统级测试部门的收购案。爱德万表示,近期半导体产业和测试系统部门营运状况有一些变化,所有交易条件都经过重新议定。过去所公布的交易条件是,收购金额1.85亿美元,外加3000万美元的特定绩效表现所得绩效奖金。而新的交易条件将前期收购金额降至1亿美元,外加最高3500万美元的特定绩效表现所得绩效奖金。...

日本森田微电子蚀刻材料入选浙江省重大产业项目

  2019-01-31 16:39 

​近日,浙江森田新材料有限公司微电子蚀刻材料一期项目入选2018年第二批浙江省重大产业项目。该项目位于胡处工业区,总用地约10.37万平方米,总投资1.9亿美元,折合人民币约13.1亿元。项目引进日本先进的精馏设备和提纯合成设备,采用最先进的日本森田化学工业株式会社提纯技术,制作半导体所需的超高纯清洗与蚀刻用电子材料,是集成电路芯片制造的关键材料之一。项目建成后,将打破目前国内12英寸所需全部依靠进口的局面。...

ASML宣布收购Mapper知识产权资产,加速制造EUV和EUV High-NA

  2019-01-29 17:29 

​据外媒globenewswire报道,ASML今天宣布,已同意收购位于荷兰代尔夫特的高科技公司Mapper的知识产权资产。此外,ASML还打算为Mapper在研发和产品组装方面的员工提供合适的职位。...

尼康诉讼ASML和卡尔蔡司侵权结果:三方和解获赔款1.5亿欧元

  2019-01-25 14:57 

​在2年前尼康向ASML以及其合作伙伴蔡司发起法律诉讼,指二者在未经尼康允许将尼康专利用于旗下光刻机,扯皮两年多后,三方总算达成和解。2017年5月份,尼康起诉蔡司、ASML在未经授权的情况下使用其光刻机技术,并提出赔偿。不过随即,蔡司、ASML两家公司联手反诉尼康侵权。...

ASML今年将推新一代EUV光刻机NXE:3400C 产能170片/小时

  2019-01-25 09:04 

1月23日,荷兰光刻机大厂ASML发布了其2018年的财报。数据显示,公司2018全年销售额为109亿欧元,净收入为26亿欧元,预计2019年第一季度销售额约为21亿欧元,毛利率约为40%。同时,将在今年推出新一代的EUV光刻设备NXE:3400C。...

​荷兰ASML发布2018全年的业绩报告:2019年将出货30台EUV

  2019-01-24 16:16 

​荷兰当地时间1月23日,ASML发布了去(2018)年第四季度及全年的业绩报告。报告指出,去年第四季度净销售额为31亿欧元,净收入为7.88亿欧元,毛利率为44.3%。第四季度营收高于预期,在营收和盈利能力方面均创下2018年的新纪录;2018全年营收109亿欧元,同比增长22.1%,净利润26亿欧元,同比增长25.4%。过去的一年在技术创新方面也取得了至关重要的成功,有望在未来几年推动营收增长。...

南大光电超募资金扛大旗,光刻胶项目明年欲实现量产

  2019-01-16 13:07 

日前,南大光电召开2019年第一次临时股东大会,审议通过了《关于使用部分超募资金投资“ArF光刻胶产品的开发与产业化”项目》、《关于设立子公司并投资建设“年产170吨MO源和高K三甲基铝生产项目”》等四项议案。公司董事会秘书张建富在接受《证券日报》记者采访时透露,上述议案总投资金额为10.16亿元。...

泉州芯谷首个半导体设备项目——北京新毅东投资项目落地

  2018-12-27 16:22 

​12月26日,北京新毅东投资项目签约仪式在泉州芯谷南安分园区举行。据中国芯谷官微介绍,该项目未来5年内将投资2亿元人民币,投资建设半导体黄光设备(包括光刻机、涂胶机、显影机)生产和研发基地,将有利于完善园区化合物半导体产业链上下游,加快打造化合物半导体全产业链体系。该项目是园区首个落地的半导体设备项目。...

全球半导体制造设备销售额2019年预计将出现4年来的首次下滑

  2018-12-25 13:59 

​日本共同社12月24日报道,全球半导体制造设备销售额2019年预计将出现4年来的首次下滑。该预测作为反映半导体市场动向的数据而备受重视,对相关行业的企业战略可能产生影响。...

鸿海精密与夏普计划在中国新建半导体工厂,总投资将近1万亿日元

  2018-12-24 16:55 

台湾鸿海精密工业及其子公司夏普计划在中国新建最先进的半导体工厂,已与当地政府展开最终调整。这是和广东省珠海市政府的共同项目,总投资有可能达到1万亿日元规模。...

ASML证实:中国首台ASML NXT2000i正式入驻SK海力士无锡工厂

  2018-12-20 15:59 

​12月19日晚间,中国首台ASML NXT2000i正式搬入SK海力士位于无锡的工厂。据ASML证实,此次入驻SK海力士无锡工厂确为NXT2000i,也即NXT2000。ASML解释道,i是immersion的意思。NXT2000都是immersion的机器。所以NXT2000即NXT2000i。...