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拉姆研究:沉积和蚀刻设备独特竞争力

视频介绍

2018-07-24 09:50:07

人工智能的芯片在未来是无处不在的,拉姆研究(Lam Research)是向半导体制造产业提供晶圆制造设备和服务的主要供应商之一。拉姆研究提供包括薄膜沉积、等离子蚀刻、单晶圆清洗在内的半导体工艺所需设备和优化方案服务,应用于晶圆制造前段制程、晶圆级先进封装以及MEMS。具体而言,公司设备产品包括三大类:薄膜沉积设备(包括各类CVD、ALD,如铜膜沉积、钨膜沉积

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