11月7日消息,针对荷兰ASML公司延迟出货EUV光刻机的报道,中芯国际刚刚也作出了回应,称“极紫外光(EUV)还在纸面工作阶段,未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前,研发与生产的连结一切正常。客户与设备导入正常运作。”


早些时候ASML也澄清称,关于日经新闻(NIKKEI)有关中芯国际相关报导有误,“延迟出货”仅为其媒体推测,ASML从未评论或确认,对其将推测直接定性为事实作为新闻标题并在文中阐述,表示抗议。


ASML表示,对全球客户一视同仁。根据瓦圣纳协议,ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可(export license)。该出口许可于今年到期,ASML已经于到期前重新进行申请,目前正在等待荷兰政府核准。


据了解,中芯国际目前量产的最先进制程为14nm,12nm已经取得重大突破。而EUV光刻机主要用在7nm及以下制程。

11月6日消息,据日经新闻报导,荷兰光刻机巨头ASML将暂时中止为“中国客户”供应“极紫外光(EUV)微影设备”。报道称,多位ASML供应商关系人士指出,ASML原先计划在2019年底之前供应EUV微影设备给中芯国际(SMIC、0981.HK),“不过该计划目前已暂时叫停”。ASML是为了避免因供应最先进的设备给中国,担心刺激到美国,因此决定暂时中止交货。


突发!传荷兰光刻机巨头ASML将暂时中止供应EUV微影设备给中芯国际


据了解,中芯国际是在去年4月份向ASML订购了EUV光刻机,原定于2019年底交付,到2020年中期完成安装。EUV光刻机是生产最新、最强大芯片必要设备,目前由ASML独家进行研发、制造,市面上无法寻找到其他替代品。


另有消息人士表示:“ASML决定推迟EUV设备的交付,是因为不想让美国政府为了最先进的芯片制造机器运往中国而烦恼。”他还补充说:“但与此同时,ASML不想让中国客户感到不安,因为那里是其增长最快的市场。”


据满天芯了解,ASML营收占比最高的国家是韩国(约35%),其次就是中国,去年有将近20%的营收来自中国,增长十分迅速,主力就是中芯国际。美国相关公司在ASML去年销售额中的占比约为16%,主要来自英特尔和美光。


突发!传荷兰光刻机巨头ASML将暂时中止供应EUV微影设备给中芯国际


据报导,中国市场占ASML营收比重约2成、仅次于韩国(35%),因此ASML并不是完全取消上述供货计划,今后将谨慎确认美中紧张情势是否有好转等情况、再来决定后续的因应对策。


报导指出,EUV是生产7奈米(nm)以下制程所必要的技术,不过SMIC自2019年起才开始进行14nm产品的测试量产,因此即便无法拿到上述EUV微影设备、预估也不会立即对其业绩带来影响,但是猛追台湾台积电的计划恐将因此遭受打击。


据悉台积电、三星已于2019年导入量产最先端产品的EUV设备,且苹果预计2020年下半开卖的新型iPhone预估就会搭载采用该技术的CPU。


中芯国际作为中国内地最大的晶圆代工厂,目前在世界上排名第5,全球市占率约5%。


随着梁孟松等核心技术人才的引入,中芯在先进工艺制程技术领域的研发明显加速。中芯与台积电的技术差距不断缩窄,14纳米工艺节点的量产时间与台积电的差距缩短至13个季度。公司12纳米工艺开发取得重大突破,目前design kit已经准备就绪。12纳米制程工艺竞争力远远优于14纳米,性能提升10%,面积缩减20%。中芯国际与台积电在14/12纳米节点的技术差距进一步缩窄。


暂时无法拿到ASML的EUV光刻机,虽然不会对现有的业绩产生影响,但14纳米进入量产之后,下一步将布局7纳米制程工艺节点,荷兰公司这一举动势必会影响中芯国际在7nm工艺的研发进度。如此看来,荷兰人已经成为了美帝遏制中国技术崛起的牺牲品,万恶的资本主义啊!


目前,中芯国际拒绝就ASML中止发货发表评论。



6日(北京时间)晚间,路透社报道指出,ASML第一时间回应表示,该公司向一家中国客户出口其最先进的设备之一的许可证已经到期,正在等待荷兰政府批准新的许可证。


ASML发言人Monique Mols进一步解释称,这台设备的价格大约为1亿欧元,“ASML只是在遵守法律,法律明确指出,只有在拥有出口许可证的情况下才能够将EUV设备运输出去”。


曾多次承诺


随着中国半导体产业发展进程加速,ASML在中国的业务增长明显。据ASML 2018年第1季、第2季财报显示的当季销售数据,大陆地区的销售占比约20%,与美国市场相当,超过了台湾市场。为表深耕中国市场的决心,ASML让最新的中国区总裁沈波替换掉了原先的韩裔负责人。


近年来,虽然市场上关于ASML的谣传四起,但ASML都一一否认,并不断重申中国市场的重要性。去年8月,就有传言称ASML公司受到美国政府禁止,不能招收中国员工。随后,ASML回应表示:“这是个不实传言,ASML招人的时候一般不会有国籍限制,我们欢迎来自全球各地的工程师”。


另外,还有人担心《瓦森纳协议》让中国大陆买不到ASML最新的设备。对此,沈波曾表示,这是对ASML的误解,ASML的光刻机一直都有在大陆销售。他还承诺,最先进的设备也将能够在大陆市场看到。


今年6月,中国另一家晶圆代工厂华虹半导体的无锡12英寸生产线也顺利搬入了3台ASML光刻机设备。ASML全球资深副总裁Bert Savonije表示,ASML非常荣幸能参与中国半导体产业发展,并做出贡献,未来希望能继续贡献力量。


毫无疑问,ASML看好持续增长的中国半导体市场,未来也想继续扩大在中国的业务版图。相信对于中芯国际的这台EUV设备的交付事宜,ASML一定会慎重对待。


其他美国设备厂商的态度?


光刻只是半导体制造流程中的一个环节,在蚀刻、研磨、清洗等制程上还需要用到非常多的半导体设备。


除了荷兰ASML,美国应用材料、Lam Research和KLA都是全球半导体行业的设备供应商。


应用材料首席财务官Daniel Durn曾表示,公司已制定计划、确保将与中美贸易紧张局势相关的任何关税净影响降至最低。第二季度中国大陆市场仍然占据公司营收比重达到了28%,为全球最高值。


KLA资深副总暨营销长Oreste Donzella也曾在接受集微网记者采访时指出,中国大陆是半导体增长最快的一个地区,KLA 2018财年第二季度中国大陆营收占比32%仅次于韩国(34%)。未来KLA将会提供完善、多样化的技术和本地化服务,来助力中国半导体产业发展。


Lam Research在参加中国首届进博会时强调,中国市场的规模决定了这里的机遇,对中国市场抱有非常强的信心,也很高兴能够参与到中国半导体产业的发展中来。


今年4月,虽然三安光电由于被美国政府纳入了“未经验证清单(Unverified List, UVL)”,应用材料曾因此短暂的停止了双方的业务联系,但经过有效沟通,不久后又重启了供货与合作。


从这三家美国半导体设备厂商的态度就足以见得,哪怕是土生土长的美国厂商,对于中国半导体市场倍加重视。即使由于政府法规而出现了小插曲,都十分积极的去沟通和解决。


荷兰工厂听命?


在中美贸易战的大环境下,很容易将ASML推迟交付一事也归咎于美国的干涉。那么连美国本土设备厂都没有做的事情,ASML作为一家荷兰厂商,会听命于美国吗?


Market Intelligence&Consulting Institute的高级技术分析师Chris Hung表示:“所有与芯片相关的公司,不论是不是美企,在将产品运往中国时都会十分谨慎。毕竟,许多知识产权、材料和基础科学仍由美国控制”。


以另一家中国企业华为为例,该公司在被列入“实体清单”后,英国芯片供应商arm随即宣布中止与华为的合作,原因是arm部分技术原产于美国。不过,arm在完成了法律方面的审查过后,又恢复了与华为的相关业务。


除了arm之外,目前华为大多数的美国供应商也都在通过合规性审查之后,恢复了对华为的供应。


因此,在ASML推迟中芯国际的EUV设备交付这件事中亦是如此。消息人士指出,ASML制造机器所需的零件中有五分之一是在美国康涅狄格州的工厂生产的。即便ASML被迫需要进行“合规性审查“,一旦符合条件之后也会恢复交付。中芯国际方面回应此事时也表示,该项目仍处于“书面工作阶段”。


值得一提的是,目前多家华为的美国供应商逐渐恢复供应,中美关系已经出现了缓和的迹象。近日,美国商务部部长威尔伯·罗斯甚至表示,中美之间的预计最快将于本月在爱荷华州、阿拉斯加、夏威夷或中国某地达成贸易协议。


这对于ASML与中芯国际之间的这笔交易来说,或许是一个好消息。就算荷兰政府担心招惹到美国,如果美国自身对于中国的态度开始好转,那么荷兰政府一定也不会再多做文章。


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