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日本森田微电子蚀刻材料入选浙江省重大产业项目

文章来源: 集微网       发布时间:2019-01-31

近日,浙江森田新材料有限公司微电子蚀刻材料一期项目入选2018年第二批浙江省重大产业项目。该项目位于胡处工业区,总用地约10.37万平方米,总投资1.9亿美元,折合人民币约13.1亿元。项目引进日本先进的精馏设备和提纯合成设备,采用最先进的日本森田化学工业株式会社提纯技术,制作半导体所需的超高纯清洗与蚀刻用电子材料,是集成电路芯片制造的关键材料之一。项目建成后,将打破目前国内12英寸所需全部依靠进口的局面。


日本森田微电子蚀刻材料入选浙江省重大产业项目


2017年11月14日,日本森田化学工业株式会社与浙江武义县举行微电子蚀刻材料项目签约仪式。2018年4月3日,浙江森田新材料有限公司在武义县新材料产业园举行入园仪式。


微电子蚀刻材料项目总占地约8万平方米,分两期建设。全部投产后,预计年销售额20亿元。其中一期项目引进日本的精馏审核提纯合成设备,采用最先进的日本森田化学工业株式会社的提纯技术,制作半导体所需的超高纯清洗与蚀刻用电子材料。


一期项目建成后形成2万吨/年蚀刻及清洗级氢氟酸,2.2万吨/年BOE(氟化铵)的生产能力,项目用地约5.91万平方米,投资额5000万美元,项目达产后预期新增产值5.9亿元。


浙江森田新材料有限公司成立于2003年,注册资金2700万美元,由日本森田化学工业株式会社和国内企业共同出资成立。公司主要生产工业级无水氢氟酸、超纯微电子蚀刻及清洗级产品,产品用于半导体微电子制造领域。公司继承日本森田化学工业株式会社的先进制造技术,并专注超纯半导体用化学材料的开发与研究,力争打造集产、学、研于一体的全球一流制造企业。


日本森田微电子蚀刻材料入选浙江省重大产业项目


母公司日本森田化学工业株式会社(简介):森田化学创立于1917年,前身为森田制药所,并于1935年更名为森田化学工业株式会社,一直专注于氟化学产品的研究、开发与制造,也是日本氟化学的先驱者之一。在氟化工领域已有百年历史。森田化学在半导体氟化学、汽车焊接材料、锂电池等制造方面的技术领先全球。特别是在半导体行业内知名度较高,具有50年以上的半导体用化学材料的生产经验与销售业绩。


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