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ASML沈波:国产芯迎来好消息,最先进光刻机即将入华!

文章来源: DeepTech深科技       发布时间:2018-09-19

据9月14日消息,在中国发展芯片产业的道路上,众人忧心的“人才”问题可以群策群力解决,“技术”可以焚膏继晷努力研发,唯独“关键设备”议题犹如中国芯片产业的软肋,尤其是光刻机巨头 ASML 更是永远处于舆论的风口浪尖上。对此, ASML 中国区总裁沈波重申,目前最成熟、最先进的光刻机都将进入中国,完全不存在高端机台不卖给中国厂商的问题。


ASML沈波:国产芯迎来好消息,最先进光刻机即将入华!


尽管UMC(联电)和Globalfoundries(格芯)先后宣布放弃7nm制程及更先进工艺的研发,但ASML依然对EUV光刻机的前景表示乐观。此前有消息指出,中芯国际(SMIC)今年已向ASML订购了一台EUV光刻机,预计明年交付,用于7nm节点。同时,传统的沉浸式光刻机方面,沈波称,今年下半年ASML已开始出货家族最先进的NXT:2000i,很快会在中国市场上也见到。


另外,媒体早先有报道称,长江存储、上海华虹半导体分别向ASML订购了193纳米浸没式光刻机和193纳米双工件台沉浸式光刻机NXT:1980Di,分别用于存储芯片制造、晶圆代工。据悉,ASML今年第一季度和第二季度的财报显示,大陆市场的销售收入占比达到了20%左右,已与美国持平,且超过了台湾地区。ASML今年的EUV光刻机产能将达到20台,明后两年将逐步提升到40台。


沈波出任 ASML 中国区总裁一职以来,首次出席“ 2018 中国集成电路产业发展研讨会暨第二十一届中国集成电路制造年会( CICD )”,沈波在会中发表演讲时,除揭露 ASML 设备技术未来蓝图发展、中国布局、合并公司的进展等问题外,更重要的是,面对 DT 君提出外界长期以来的疑问,也就是 ASML 是否受到某些限制,因而无法销售高端设备给中国厂商,沈波也逐一回答释疑。


ASML 强调所有商用机台都可以进口中国市场,明年更会有7纳米落地


ASML沈波:国产芯迎来好消息,最先进光刻机即将入华!


沈波点出,网络上很多人讨论 ASML 没有把最好的机器卖给中国,这并非事实,因为,现在 ASML 的极紫外光(EUV)机台已经进入中国,其中, NXT : 1980 是目前 ASML最成熟的机台,也将要进入中国。沈波更透露, 这边的客户从来没有拿不到最先进机台的问题。ASML 新款的 NXT: 2000 机台很快就会在中国市场上看到。而 ASML 的 NXT : 2000 是深紫外光(DUV)机台,多数用于生产高端的 7 纳米和 5 纳米工艺技术,这也暗示,中国将进入高端 7 纳米技术的生产之列。


事实上,中国占 ASML 业务比重越来越大,以今年上半年来看,中国市场占其营收约 20 %,估计全年平均约可达到 15 % 左右,目前 ASML 在中国的客户有中芯国际、华虹半导体、长江存储、合肥长鑫、英特尔大连厂、SK海力士西安厂等。


单是今年,就有中芯国际引进首台 EUV 光刻机,还有长江存储武汉厂、华虹集团旗下的华力微电子均引进 ASML 的机台。但他也点出一个重点,中国晶圆厂是遍地开花,但真正实现量产的晶圆厂,会比宣布的要少很多。


沈波强调,芯片的生产制造并不是有了光刻机,就能把什么问题都解决了,芯片的制造流程非常复杂,要解决一道道技术难题后,才能顺利生产。沈波更进一步表示, ASML 所有商用的光刻机产品,无论是最成熟的、最先进的光刻机,都可以进口到中国。


ASML沈波:国产芯迎来好消息,最先进光刻机即将入华!


包括许多媒体报道对于 ASML 的另外一个疑虑,是多年前英特尔、台积电、三星曾经参与“EUV 投资计划专案”,加速 ASML 的 EUV 机台技术研发,外界担心,产能十分有限的 EUV 机台会不会被上述的三家厂商包下订单,导致其他的半导体厂无机台可买?


对此,沈波也特别说明,当初三家半导体大厂投资 EUV 计划专案,主要是怕 ASML 不做了,产业会出现技术瓶颈,现在公司的机台产能是每年逐渐提高,订单是按照客户下单的先后顺序,并非这三家公司当初参与投资,就先拿到机台,应该是说这三家公司因为提早做技术准备,因此比较早用到 EUV 技术。


ASML 连续 16 年稳居光刻机龙头, EUV 机台垄断是关键原因


ASML 目前的三大产品线为 EUV 、 DUV 和 application products。当中, DUV 是出货量最大的产品,而 EUV 是最具前瞻性的产品,从 2018 年—— 2020 年的成长性可以看见大幅往上,目前公司也积极扩充产能,从年产能 20 台,明年提升至 30 台,后年再提升至 40 台。另外,在 application products 部分,主要是 20 纳米以下制程市场,像是 14 纳米、 7 纳米,该产品线成长率非常高。


ASML沈波:国产芯迎来好消息,最先进光刻机即将入华!


(来源:DeepTech)


根据美国调研机构的资料显示, 2017 年全球半导体光刻设备厂中, ASML 仍以 85 % 的市占率稳居龙头,其次是日本厂商尼康( Nikon ) 的 10.3 %,以及佳能 ( Canon ) 的 4.3 %,这已经是 ASML 连续 16 年稳居市场第一,而 ASML 以几乎垄断的地位存在于光刻机领域,主要就是因为它是全球唯一能提供 EUV 机台的半导体设备厂。


沈波指出,今年投入 16 亿欧元在研发上面,占营收比重约 15 % ,且今年是公司 EUV 机台上非常重要的一年,客户要把 EUV 技术导入量产,目前 EUV 机台每小时产出片数达 125 片,在实验室中可达 140 片,且光源 250 瓦的稳定性很高,明年客户采用 EUV 的规模会再扩大。


ASML 扩大布局中国市场,在上海成立培训中心


ASML 进入中国市场已经 18 年了,日前也持续扩大布局中国市场,目前有 13 个办公室,两个研发中心分别在北京和深圳,近期在上海也成立培训中心,估计 ASML在中国员工约 1000 人。此外, ASML 前几年并购的汉微科,主力为电子束技术,在北京有将近 60 人的研发团队。这两年两家公司一直在做整合,包括技术和产品的整合,和原本公司强项的光刻机结合起来,提供客户完整的光刻解决方案,今年也会有新产品,包括光学量测机台、多重电子束机台,朝为客户提供全方位解决方案迈进。


ASML沈波:国产芯迎来好消息,最先进光刻机即将入华!


(来源:DeepTech)


沈波表示,中国半导体市场处于前所未有的历史阶段,然遇到的阻碍也很多,行业更需要精诚合作,大家形成伙伴关系,而不单只是供应商关系,彼此更是伙伴关系。他也观察到,逻辑客户的技术发展是走在最前端,芯片越做越小,继 FinFET 架构技术后,三星也提出 GAA 架构技术,而在存储技术这块, 3D NAND 是不错的方向,芯片更为立体化后,未来要软硬技术结合优化产品。


文章来源:DeepTech深科技

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