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三氯氢硅与氢气在多晶硅还原炉中的反应机理,主反应都有哪些?

项目编号:XP383C955D36387

项目状态:已发布

项目分类: 非金属研发指导

所在地:江苏 / 扬州

需求内容:

公司主要从事高纯硅的研发、生产和销售。

三氯氢硅与氢气在多晶硅还原炉中的反应机理,主反应都有哪些?

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