国产450mm半导体级单晶硅棒研制成功,采用了国际最先进MCZ技术

  聊聊科技事        2020-07-01 13:03:42

据半导体行业观察报道,在Semicon China 2020上,新美光(苏州)半导体科技有限公司发布了450mm(18寸)11个9纯度的半导体级单晶硅棒。据新美光介绍,450mm半导体单晶硅棒采用了国际最先进MCZ技术,代表国际先进水平,改变国内无自主450mm半导体级单晶硅棒的局面,将在28nm以下晶圆厂实现国产替代。


国产450mm半导体级单晶硅棒研制成功,采用了国际最先进MCZ技术


IT之家从官网获悉,苏州新美光纳米科技有限公司SUZHOU SICREAT成立于2013年2月,坐落于美丽的苏州工业园区。依托中科院苏州纳米所和产业技术创新与育成中心,成功开发了一系列半导体硅晶圆(硅片)加工工艺和技术。新美光致力于为客户提供全面的解决方案,从调试级硅片(Dummy Wafer),测试级硅片(Test Wafer),到产品级硅片(Prime Wafer),以及特殊硅片氧化硅片、氮化硅片、镀铝硅片……


延伸阅读:


京运通拟建乌海10GW高效单晶硅棒项目


2020年6月15日,京运通发布《2020年非公开发行A股股票募集资金使用可行性分析报告(二次修订稿)》。


公司本次非公开发行募集资金总额预计为不超过25亿元,扣除发行费用后的募集资金净额将全部用于乌海10GW高效单晶硅棒项目和补充流动资金。项目建设地点位于内蒙古自治区乌海市海勃湾工业园区,建设期为2年,实施主体为乌海市京运通新能源有限公司。


公告显示,京运通公司正在研发JD-1600单晶炉,该炉型兼容32-40寸热场,最大投料量达900公斤,除拉制目前市场上主流的9寸166mm硅片外,还兼容12寸210mm硅片。


为解决业内单晶炉生长工艺中存在的自动熔接困难、一次成活率低、时间过长等技术问题,公司成功研发拥有自主知识产权的“全智能CCD自动识别成像系统”,该系统使得单晶炉的自动熔接成活率超过80%,工序时间控制在80分钟以内,较传统操作系统节省一半的运行时间,大幅提高劳动效率,减少对熟练工的依赖,从而降低整体成本。


另外,公司从美国引进CCZ自动连续投料技术,该技术以直拉单晶制造法为基础,对其进行优化,能够提升产品质量、提高单位时间产量、降低生产成本及产业投资成本,对行业发展产生一定积极影响。

来源:IT之家,索比光伏网

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